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[1]吴慎将,施卫,苏俊宏,等.激光场强分布对类金刚石薄膜激光损伤阈值的影响[J].西安理工大学学报,2012,(01):0.
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激光场强分布对类金刚石薄膜激光损伤阈值的影响

《西安理工大学学报》[ISSN:1006-4710/CN:CN 61-1294/N]

卷:
期数:
2012年01期
页码:
0
栏目:
机械工程
出版日期:
2012-02-29

文章信息/Info

Title:
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作者:
吴慎将;施卫;苏俊宏;
西安理工大学理学院;西安工业大学光电工程学院;
Author(s):
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关键词:
类金刚石薄膜激光场强损伤阈值等离子体吸收
Keywords:
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分类号:
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DOI:
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摘要:
采用非平衡磁控溅射技术,在双面抛光的硅基底上沉积了DLC薄膜,基于ISO11254-1损伤测试平台对DLC薄膜进行了损伤阈值测试;计算了DLC薄膜激光场强及温度场分布,对比了激光场强与损伤阈值的关系。计算结果显示:薄膜表面激光场强增大,DLC薄膜的激光损伤阈值变低;激光场强相等时,随着薄膜厚度增加,激光损伤阈值变小。分析认为:薄膜表面激光场强增大后,激光与DLC薄膜相互作用,产生的等离子体加剧薄膜对激光能量的吸收并产生热累积,激光场强诱导sp3杂化向sp2杂化转变,致使DLC薄膜发生石墨化,从而影响了DLC薄膜的激光损伤阈值。
Abstract:
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参考文献/References:

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备注/Memo

备注/Memo:
基金:国家自然科学基金资助项目(60978040,60878032)
更新日期/Last Update: 2012-02-29